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| 残余气体分析仪（四极质谱仪） | ||||||||||||||
 ToolCheck在真空诊断中是创新的概念，它桥接了真空计与RGAs之间的空隙。这台简易的高功能仪器用于监测真空系统，精确地辨别常规的残余气体，便于及时检测真空问题与快速消除故障。这台全内置的仪器可容易地连接任何真空室，内置程序和TCP/IP接口，用于控制ToolCheck和运行于系统控制器的标准网页浏览器查阅结果，无需外接计算机。 简单的指令组易于写入用户特定的码，将ToolCheck集成于您的系统控制器。 | ||||||||||||||
| Transpector 2 的特点 | ||||||||||||||
| ·I100－，200－，和300－amu系统带法拉第杯或电子倍增器/法拉第杯的组合。 | ||||||||||||||
| ·改进的氢检测。 | ||||||||||||||
| ·与原始的Transpector相比讯噪比提高10倍 | ||||||||||||||
| ·快速扫描低值讯号 | ||||||||||||||
| ·个量级的电子学动态量程 | ||||||||||||||
| ·用于单传感器和多传感器系统的软件选件 | ||||||||||||||
| ·分压测量从1×10-4乇至2×10-14乇 | ||||||||||||||
Transpector 2 是基于四极场的智能传感器，全部传感器电子驱动加上微处理器安装在一个附在传感器上的小型、轻便的密闭匣内。由于它是智能的传感器，具有相当的灵活性，您可以使用当前的计算机或从INFICON选购PC和软件包。两种通讯链接，RS232用于单传感器，RS485用于多传感器配置，将Transpector2 连接控制计算机。简单的指令协议支配全部Transpector功能。
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用Transpwctor XPR3进行工艺监测可为您提供有关污染程度、出气量值、气体纯度和设备运行的实时数据。 
